單晶硅烘箱外殼一般采用薄鋼板制作,表面烤漆,工作室采用的結(jié)構(gòu)鋼板制作。外殼與工作室之間填充硅酸鋁纖維。加熱器安裝底部,也可安置頂部或兩側(cè)。溫度控制儀表采用數(shù)顯智能表,PID調(diào)節(jié):配置999.99小時時間控制器并與報警裝置相連接。使烘箱的操作更簡便,快捷與有效。單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
單晶硅烘箱結(jié)構(gòu):
單晶硅烘箱箱體結(jié)構(gòu):設(shè)計,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用雙開式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統(tǒng):溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表;Pt100鉑電阻測溫傳感器;
單晶硅烘箱保護(hù)系統(tǒng):整機(jī)保護(hù)系統(tǒng)由超溫保護(hù)及報警裝置構(gòu)成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。
單晶硅烘箱應(yīng)用特點(diǎn):
1、本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
2、本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數(shù)字直接顯示出工作溫度,直觀易讀。
3、工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫;能自動切斷電源,保護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
4、該設(shè)備具有超溫報警,恒溫計時功能。
單晶硅烘箱日常保養(yǎng):
1.打掃表面及內(nèi)腔灰塵,保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。
2.檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。